Nanopositionier- und Nanomessmaschine



NMM-1
- 3D-Multisensor-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit
- Kundenspezifische Antastsysteme, z.B. Laserfokussensoren, Rasterkraftmikroskope, Weißlichtsensoren, 3D-Mikrotaster
- Betriebsarten:
1. dynamisches Positioniersystem
2. messendes System mit kontinuierlichem Scanmodus oder Schrittmodus
- Steuerung der NMM-1 erfolgt über eine komfortable Script-Sprache auf dem Host-PC
Technische Daten:
- Mess- und Positionierbereich: 25 mm x 25 mm x 5 mm
- Auflösung 0,1 nm
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Anwendungen:
- Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, Mikromechanik, Optik, Molekularbiologie und Mikrosystemtechnik mit Nanometergenauigkeit in großen Raumbereichen
- Messung von Präzisionsteilen, z.B. Härteeindringkörper, Membranen und Mikrolinsen
- Kalibrierung von Stufenhöhennormalen und Pitch-Standards

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