Nanopositionier- und Nanomessmaschine

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NMM-1

• 3D-Multisensor-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit
• Kundenspezifische Antastsysteme, z.B. Laserfokussensoren, Rasterkraftmikroskope, Weißlichtsensoren, 3D-Mikrotaster
• Betriebsarten:

1. dynamisches Positioniersystem

2. messendes System mit kontinuierlichem Scanmodus oder Schrittmodus

• Steuerung der NMM-1 erfolgt über eine komfortable Script-Sprache auf dem Host-PC

Technische Daten: Mess- und Positionierbereich:  25 mm x 25 mm x 5 mm Auflösung 0,1 nm

Anwendungen: Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, Mikromechanik, Optik, Molekularbiologie und Mikrosystemtechnik mit Nanometergenauigkeit in großen Raumbereichen Messung von Präzisionsteilen, z.B. Härteeindringkörper, Membranen und Mikrolinsen Kalibrierung von Stufenhöhennormalen und Pitch-Standards