Einstrahliges, hochgenaues Laserinterferometer für Planspiegel-, Kugel- oder Hollow-Reflektor:
Der Laserstrahl wird durch den Reflektor in sich selbst zurückgeleitet.
Vorteile:
- Höchste Linearität
- Messungen durch schmale Öffnungen möglich
- Bei Verwendung von Planspiegeln ist eine laterale Verschiebung des Spiegels oder des Interferometers zur Messachse möglich.
- Beim Einsatz von Kugel- oder Hollow-Reflektoren mit hoher Kippinvarianz ist eine einfache Strahljustage möglich. Ausserdem werden höhere Messstrecken erreicht.
Anwendungen: Kalibrierung von Längenmessgeräten, für Mehrkoordinatenmessungen, z.B. an Planartischen, Schlag- und Rundlaufmessungen
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Differenz-Laserinterferometer für höchste Stabilität für Planspiegel- oder Kugelreflektor:
Laserinterferometer mit mindestens 2 Strahlen. Durch Differenz der beiden Strahlen wird die Länge ermittelt.
Vorteile:
- Durch die Anordnung des Referenzstrahls direkt neben dem Messstrahl werden Umwelteinflüsse minimiert.
Anwendungen: Messungen mit höchster Stabilitätsanforderung, Langzeitmessungen
Einfaches, klassisches Laserinterferometer mit Tripelprisma-Reflektor:
Der reflektierte Laserstrahl wird durch den Tripelprisma-Reflektor seitlich versetzt und parallel zum ausgehenden Strahl zurückgeleitet.
Vorteile:
- Kalter Sensorkopf durch komplette Lichtwellenleiterkopplung
- Einfache Strahljustage durch Kippinvarianz des Tripelprisma-Reflektors (±1,5°)
- kein Strahlverlust auch bei weniger geraden Achsen
Anwendungen: Kalibrierung von Achsen oder Längenmessmaschinen