Zweistrahliges Interferometer:
Zwei parallele Messstrahlen erfassen unabhängig voneinander zwei Längenwerte. Dadurch können neben der Position auch Winkel und Differenzwerte ermittelt werden.
Vorteile:
- Simultane Messung von Länge und Winkel oder Differenzmessung
- Strahlabstand wählbar
- Je nach Anwendung mit Planspiegel, Kugel- oder Hollow-Reflektoren kombinierbar
Anwendungen: Simultane Längen- und Winkelerfassung, z. B. zur Vermessung an Achsen
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Dreistrahlige Interferometer (3 DOF):
Drei Laserinterferometer in einem Gerät erfassen unabhängig voneinander drei Längenwerte. Dadurch können neben der Position gleichzeitig zwei Winkel bzw. Differenzwerte ermittelt werden.
Vorteile:
- Simultane Messung von Länge, Nick- und Gierwinkel
- Geradheitsmessung von Führungen und Achsen über das Winkelprüfverfahren (nach DIN ISO 230-1) in nur einem einzigen Durchlauf (kein Umbau notwendig)
- Kalibriersoftware zur Anzeige der Messungen
- Ermöglicht die Korrektur von Messabweichungen, die durch Abbe-Offset entstehen
- Ermittlung der Lage des Drehpunktes bei Verkippungen
Anwendungen: Simultane Längen- und Winkelerfassung, z. B. zur Vermessung an Achsen
für Messaufgaben bis 2 mmehr Infos |
für Messaufgaben bis mindestens 15 mmehr Infos
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Kalibrier-Laserinterferometer (5 DOF):
In das Dreistrahl-Interferometer für große Messbereiche (bis 15 m und mehr) wurde eine zusätzliche Geradheitsmessung mit Hilfe eines Wollastonprismas und eines Geradheitsspiegels integriert. Damit sind nun Messungen von 5 Freiheitsgraden realisierbar.