Forschungsvorhaben auf dem Gebiet der Nanostrukturierung

Am 01.11.2019 haben die Arbeiten an dem Verbundprojekt „Scanning-Probe-Nanofabrikationsmaschine (SPNF)“ begonnen, das im Rahmen der Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) gefördert wird. Ziel des Vorhabens ist es, ein neuartiges System für die flexible skalenübergreifende Nanostrukturierung mit höchster Präzision zu entwickeln. Als Alternative zu teuren Lithographieverfahren der Massenproduktion sollen damit Hersteller und Entwickler in der Halbleiterindustrie in die Lage versetzt werden, neuartige, flexible und universelle Bauelemente, auch in kleinen Stückzahlen, realisieren zu können. Das Verbundprojekt wird gemeinsam mit der Technischen Universität Ilmenau und dem ebenfalls in Ilmenau ansässigen Unternehmen nano analytik GmbH durchgeführt. Die Laufzeit des Projekts endet zum 31.10.2021.

Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wurde durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) kofinanziert.

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